Skid avec enceinte à vide

Skid avec enceinte à vide

Technique de dépôt de couche mince (généralement métallique), utilisé notamment dans la fabrication micro-électronique. Le matériau à déposer est évaporé sous vide dans une enceinte hermétique, le vide permettant aux particules d'atteindre directement le support où elles se recondensent à l'état solide.


 
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